测量项目

点、直线、圆、部分圆、椭圆、圆弧处理（圆弧半径、圆心距、圆心到直线的距离、交点到圆心的距离等）、高点、低点、距离、角度处理（坐标夹角、直线夹角）、直线度、槽深、槽宽、沟边距、沟心距、水平距、凸度（对数曲线）、轮廓度等参数

测量范围

X轴（横导轨）

100mm

Z1轴（传感器）

40mm

Z轴（立柱）

400mm

测量精度

X轴

(L=X轴导轨移动距离)

±(1.2+L/300)μm

Z1轴

(H=Z1轴方向测量高度)

±(1.2+2H/100)μm

X轴水平臂

直线度

1μm/100mm

光栅分辨率

0.1μm

光栅产地

进口

Z1轴传感器

分辨率

0.05μm

传感器类型

光栅传感器

产地

进口

移动方向

前/后双方向

测力

0.5-6g

测针针尖

硬质合金R：0.05mm、0.01mm

爬坡角度

上升77度下降88度

速度

测量速度

0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s（自定义）

定位速度

0.1mm/s,0.2mm/s,0.5mm/s（自定义）

图形放大/缩小

图形放大

可任意缩小、放大

综合调整台

综合调整台

X轴水平倾斜调整范围：±30°

Y轴方向调整范围：±7.5mm

Z轴回转可调360度（带微调装置）

安装要求

电源

220-240V AC, 50HZ，单独地线；大功率消耗450W

压缩空气

纯净压缩空气：气压0.4MP，消耗0.1m3/min（气源供给0.6MP，0.25m3/min以上）

环境要求

工作温度：10°-30°（常温）；湿度20-80%RH（无结露），良好地线，无明显振源